真空爐高溫除氣工藝可以大大下降不銹鋼出氣率.通過使用實(shí)例,給出了真空爐高溫除氣和現(xiàn)場(chǎng)烘烤除氣及二者結(jié)合除氣的成果,分析了真空爐高溫除氣的有利因素,證明選用該工藝對(duì)于下降不銹鋼出氣率,然后取得超高真空具有明顯的效果。
依據(jù)真空根本公式p=Q/S可知,要取得超高真空即低壓力p,有下降氣載Q和增大泵抽速S兩大途徑。真空技術(shù)發(fā)展到目前的水平,增大各種泵抽速的研討已無太大發(fā)展。并且在細(xì)長(zhǎng)型真空體系(如粒子儲(chǔ)存環(huán)、加速器束流傳輸線等)中,泵的有用抽速受流導(dǎo)的約束,即便選用大抽速的泵,也不會(huì)對(duì)體系真空度發(fā)生大的影響。然后可知,取得超高真空的最有用途徑是下降氣載。一個(gè)超高真空體系中,資料的出氣往往是氣載的主要來歷。從經(jīng)濟(jì)角度和空間方位等方面考慮,假如選用特別工藝能夠使資料出氣率下降1個(gè)數(shù)量級(jí),比添加10倍的泵要經(jīng)濟(jì)、合理得多。因而,研討先進(jìn)工藝對(duì)資料進(jìn)行處理,取得盡可能低的資料出氣率一直是超高真空范疇的一個(gè)重要研討課題。20世紀(jì)70年代,用真空爐高溫烘烤去除鍛煉時(shí)溶解在資料內(nèi)部的各種氣體(以H2為主),然后取得低出氣率的除氣工藝就在國(guó)外眾多粒子加速器真空體系中得到了廣泛的使用,也取得了料想的成果。國(guó)內(nèi)許多真空設(shè)備元器件(如濺射離子泵泵芯、泵殼等)也選用真空爐除氣的方法來取得較高的極限真空(大于5×10-9Pa)。
